- •А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
- •Химическая технология квантовой и
- •Твердотельной электроники
- •Предисловие
- •Методические указания к выполнению курсовых проектов (работ)
- •1.1. Тематика курсовых проектов (работ)
- •1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
- •1.2.1. Общие указания
- •1.2.2. Аналитический обзор литературы
- •1.2.3. Инженерные решения
- •1.2.4. Технологический раздел
- •1.2.4.1. Структура и содержание
- •1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
- •Сравнительная характеристика интегральной планарной и керамической технологий
- •Основной состав исходной шихты
- •Сводная таблица материального баланса процесса спекания заготовок позисторов (для одной лодочки с 672 заготовками)
- •Материальный баланс процесса напыления пленки Al (для единичной загрузки камеры напыления)
- •Материальный баланс процесса травления фсс
- •1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
- •1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
- •1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
- •1.3.2. Технологический расчет аппарата
- •1.3.3. Конструирование электропечей сопротивления
- •1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
- •Материальный баланс процесса обжига изделий
- •1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
- •Сводный тепловой баланс обжига в электропечи сопротивления
- •Основные характеристики материалов, применяемых для изготовления нагревательных элементов [5]
- •Рекомендуемые и максимально допустимые температуры работы нагревателей в зависимости от условий эксплуатации [7]
- •Сплавы, рекомендуемые для работы в специальных атмосферах [7]
- •Максимальное отношение d / d для спиральных нагревателей
- •Максимальная высота зигзага проволочных нагревателей, мм
- •Максимальная высота зигзага ленточного нагревателя, мм
- •Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
- •1.3.6. Расчет нагревательных элементов
- •Коэффициент степени черноты некоторых материалов
- •Значения коэффициента эф для различных систем нагревателей
- •Значения коэффициента эф при нагреве материалов с различной степенью черноты поверхности [1]
- •Относительная мощность стен для нагревателей различного вида
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности ленточного нагревателя, размещаемые на 1 м2 поверхности футеровки
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности проволочного нагревателя, размещаемые на 1 м2 футеровки
- •Характеристики карборундовых нагревателей
- •Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
- •Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
- •1 .3.7. Расчет вакуумной системы
- •Проводимости и распределение давления по длине низковакуумного участка системы
- •Результирующая таблица вакуумной системы
- •1.4. Графическая часть проекта
- •2 . Выполнение дипломных проектов (работ)
- •2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
- •2.2 Структура дипломных проектов (работ)
- •Структура основной части дипломных проектов и работ
- •2.3 Указания по выполнению разделов пояснительной записки
- •2.3.1. Обоснование научной или производственной задачи
- •2.3.2. Технологический раздел
- •Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
- •Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
- •2.4. Автоматизация производства
- •2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
- •2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •2.7 Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
- •2.8. Экономический раздел
- •Основные технико-экономические показатели модернизации производства постоянных магнитов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Фундаментальные физико-химические константы
- •Термодинамические свойства некоторых веществ
- •Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
- •Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
- •Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
- •Литература
- •Оглавление
- •Химическая технология квантовой и твердотельной электроники
- •220006. Минск, Свердлова, 13.
Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
Приход |
Расход |
||
Компонент |
Масса, г |
Компонент |
Масса, г |
1. Пластины Si
2. Суспензия в т.ч. H2O SiO2 C2H4(NH2)2 Na-КМЦ
3. H2O (на промывку) |
576,956
18108,120
15216,152 2384,824 507,024 0,120
120000,0 |
1. Пластины Si 2. Отраб. суспензия в т. ч. H2O SiO2 C2H4(NH2)2 Na-КМЦ H2SiO3 Si (выколки) 3. Вода после промывки в т. ч. H2O (на пластинах) H2O (на слив) 4. Газообр. продукты, в т.ч. H2O H2 5. Суспензия (остаток) в т. ч. H2O SiO2 C2H4(NH2)2 Na-КМЦ |
541,989 6343,206 5258,585 834,689 177,458 0,042 58,445 13,987 120000,0
60,0 119940,0 29,603
26,606 2,997 11770,278
9890,499 1550,135 329,566 0,078 |
Итого |
138685,07 |
|
138685,08 |
Таблица 29
Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
Приход |
Расход |
||||||
Компонент |
Масса, кг |
Мас. % |
Компонент |
Масса, кг |
Мас. % |
Объем, м3 |
Об. % |
1 Титансодержащий раствор, в т.ч.: TiCl4 С3Н8О Примеси |
129134 309922 409 |
29,38 70,52 0,09 |
1 Суспензия, в т.ч.: TiO2 Н2О (NH4)2CO3 NH4Cl C3H8O Примеси |
52741 522108 3915 141082 309922 540 |
5,12 50,70 0,38 13,70 30,10 0,05 |
|
|
Итого |
439465 |
100 |
Итого |
1030308 |
100 |
|
|
2 Раствор карбоната аммония, в т.ч.: (NH4)2CO3 Примеси Н2О |
130493 131 522108 |
20,00 0,02 79,98 |
2 Газовая фаза, в т.ч.: TiCl4 CO2
|
3874 58015
|
6,3 93,7 |
456 29535 |
1,5 98,5 |
Итого |
652732 |
100 |
Итого |
61889 |
100 |
29991 |
100 |
Итого |
1092197 |
100 |
Итого |
1092197 |
100 |
29991 |
100 |
2.4. Автоматизация производства
При разработке дипломных проектов данный раздел начинают с описания технологического процесса как объекта управления. При этом приводится информация об основных узлах автоматизируемого оборудования, режимах и особенностях его работы, анализируются выходные и входные, а также контролируемые, регулируемые, сигнализируемые параметры и источники возмущения.
Раздел может содержать описание применяемых методов и средств автоматизации технологических процессов, схемы автоматизированных систем управления технологическим процессом, сведения о контрольно-измерительных приборах систем автоматизации, местах отбора проб для анализа и измерения параметров, необходимых для обеспечения контроля, об управлении и безопасности ведения производственного процесса, сведения о применении и разработке сквозных компьютерных технологий и систем автоматизации проектной, конструкторско-технологической подготовки производства, их взаимодействии с системами управления предприятием. Результатом выполнения раздела является разработка функциональной схемы автоматизации соответствующего процесса, а также расчет конкретных устройств автоматизации с целью обоснования их выбора для обеспечения регулирования соответствующего технологического параметра, например, температуры, давления, расхода газов или жидкости, на заданном уровне точности.
При выполнении дипломных работ раздел автоматизации обычно заменяется статистической обработкой экспериментальных данных, которая приводится в экспериментальном разделе.