- •А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
- •Химическая технология квантовой и
- •Твердотельной электроники
- •Предисловие
- •Методические указания к выполнению курсовых проектов (работ)
- •1.1. Тематика курсовых проектов (работ)
- •1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
- •1.2.1. Общие указания
- •1.2.2. Аналитический обзор литературы
- •1.2.3. Инженерные решения
- •1.2.4. Технологический раздел
- •1.2.4.1. Структура и содержание
- •1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
- •Сравнительная характеристика интегральной планарной и керамической технологий
- •Основной состав исходной шихты
- •Сводная таблица материального баланса процесса спекания заготовок позисторов (для одной лодочки с 672 заготовками)
- •Материальный баланс процесса напыления пленки Al (для единичной загрузки камеры напыления)
- •Материальный баланс процесса травления фсс
- •1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
- •1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
- •1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
- •1.3.2. Технологический расчет аппарата
- •1.3.3. Конструирование электропечей сопротивления
- •1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
- •Материальный баланс процесса обжига изделий
- •1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
- •Сводный тепловой баланс обжига в электропечи сопротивления
- •Основные характеристики материалов, применяемых для изготовления нагревательных элементов [5]
- •Рекомендуемые и максимально допустимые температуры работы нагревателей в зависимости от условий эксплуатации [7]
- •Сплавы, рекомендуемые для работы в специальных атмосферах [7]
- •Максимальное отношение d / d для спиральных нагревателей
- •Максимальная высота зигзага проволочных нагревателей, мм
- •Максимальная высота зигзага ленточного нагревателя, мм
- •Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
- •1.3.6. Расчет нагревательных элементов
- •Коэффициент степени черноты некоторых материалов
- •Значения коэффициента эф для различных систем нагревателей
- •Значения коэффициента эф при нагреве материалов с различной степенью черноты поверхности [1]
- •Относительная мощность стен для нагревателей различного вида
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности ленточного нагревателя, размещаемые на 1 м2 поверхности футеровки
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности проволочного нагревателя, размещаемые на 1 м2 футеровки
- •Характеристики карборундовых нагревателей
- •Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
- •Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
- •1 .3.7. Расчет вакуумной системы
- •Проводимости и распределение давления по длине низковакуумного участка системы
- •Результирующая таблица вакуумной системы
- •1.4. Графическая часть проекта
- •2 . Выполнение дипломных проектов (работ)
- •2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
- •2.2 Структура дипломных проектов (работ)
- •Структура основной части дипломных проектов и работ
- •2.3 Указания по выполнению разделов пояснительной записки
- •2.3.1. Обоснование научной или производственной задачи
- •2.3.2. Технологический раздел
- •Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
- •Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
- •2.4. Автоматизация производства
- •2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
- •2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •2.7 Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
- •2.8. Экономический раздел
- •Основные технико-экономические показатели модернизации производства постоянных магнитов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Фундаментальные физико-химические константы
- •Термодинамические свойства некоторых веществ
- •Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
- •Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
- •Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
- •Литература
- •Оглавление
- •Химическая технология квантовой и твердотельной электроники
- •220006. Минск, Свердлова, 13.
Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
Материал |
Удельное газовыделение, Пам3/кг |
Скорость удельного газовыделения, Пам3/(м2с) |
Температура, °С / (вакуумн. обр., ч) |
Вольфрам |
- |
1,310-6 |
400 |
0,02 - 0,04 |
- |
2300 |
|
Латунь |
- |
3,110-5 |
400 |
Медь
|
4,2210-2 |
(0,64-1,95) 10-4 |
400 |
|
(0,1-9,3) 10-9 |
400/15 |
|
5,2510-2 |
|
600 |
|
8,2910-2 |
|
800 |
|
Молибден |
7,110-2 |
|
400 |
1,6810-1 |
|
600 |
|
2,4310-1 |
|
800 |
|
3,7610-1 |
|
1000 |
|
0,80 |
|
1800 |
|
|
9,310-6 |
25/1 |
|
Никель |
2,1410-1 |
|
400 |
4,5810-1 |
|
600 |
|
5,1110-1 |
|
800 |
|
6,5810-1 |
|
1000 |
|
0,8 |
|
1200 |
|
|
810-6 |
25/1 |
|
Алюминий |
|
(4-9) 10-6 |
25/2 |
Тантал |
|
610-6 |
400 |
|
1,210-5 |
25/1 |
Продолжение таблицы 3 |
|||
Материал |
Удельное газовыделение, Пам3/кг |
Скорость удельного газовыделения, Пам3/(м2с) |
Температура, °С / (вакуумн. обр., ч) |
Ковар |
510-2 |
|
400 |
1,4710-1 |
|
600 |
|
0,384 |
|
800 |
|
1,369 |
|
1000 |
|
Дюралюминий |
|
5,5710-4 |
25/1 |
|
1,910-4 |
25/5 |
|
Фторопласт |
|
110-4 |
25 |
|
710-5 |
25/3 |
|
Полиэтилен |
|
410-5 |
25/3 |
Тефлон |
|
6,610-5 |
25/1 |
Плексиглаз |
|
1,310-5 |
25/1 |
Стали |
|||
|
8,810-4 |
410-4 |
400 |
конструкционная |
|
1,310-7 |
400 |
хромированная |
|
10-8 – 10-10 |
450/15 |
1Х18Н10Т |
2,7210-1 |
|
600 |
3,5710-1 |
|
800 |
|
нержавеющая |
3,710-2 |
410-5 |
400 |
Стекла |
|||
С 49-2 |
410-1 |
|
450 |
С 87-1 |
5,3310-1 |
|
450 |
С 48-1 |
8,010-1 |
|
600 |
С 48-3 |
6,710-1 |
|
780 |
П-15 |
4,6510-1 |
|
500 |
Резины |
|||
7880 |
|
5,310-5 |
90 |
9024 |
|
2,710-5 |
90 |
ИРП-1015 |
|
2,410-4 |
90 |
ИРП-1368 |
|
4,410-4 |
250 |
ИРП-2043 |
|
2,710-4 |
250 |
Вакуумная необработанная |
|
1,010-2 |
25 |
Таблица 4
