Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Ответы - Гребенюк (just from AnaSha).docx
Скачиваний:
1
Добавлен:
01.03.2025
Размер:
31 Мб
Скачать
☆

6.2. Атомно-силовая микроскопия при контроле качества подложек зеркал лг с интерференционно-оптическим покрытием.

В основе АСМ лежит силовое воздействие между зондом и поверхностью, для регистрации которого используются специальные зондовые датчики, представляющие собой упругую консоль с острым зондом (кантеливером) на конце. Радиус зонда порядка 10 нм. При перемещении зонда относительно поверхности происходит изгиб консоли, который регистрируется с помощью оптического датчика, представляющего собой полупроводниковый лазер и 4-х позиционный фотодиод. Секции фотодиода вкл. таким образом, что позволяют регистрировать отдельно изменения изгиба консоли по нормали к поверхности, а также в латеральном (боковом) направлении.

Конструкция АСМ включает обратную связь содержащую пьезо-керамический элемент, отрабатывающий изменения положения консоли.

55