2.1.1.Основые измерительные операции

При работе с оптическими измерительными установками необходимо осуществлять следующую последовательность операций, выполняемых в процессе измерения:

1) Грубая (в смысле с точностью до поля зрения) настройка прибора - это настройка освещенности, центрирование, фокусировка, горизонтирование, установление параллельности и перпендикулярности осей и развороты с целью получения изображения в поле зрения.

2)Тонкая настройка прибора - это поперечные и продольные наводки с целью минимизации методических и инструментальных погрешностей.

3)Рабочее смещение и наведение - это операция наведения объекта измерения и совмещение с нулем отсчетного устройства.

4) Снятие отсчета.

5) Обработка результатов наблюдений и отсчетов.

2.1.2.Факторы, влияющие на точность измерения

Точность измерения зависит от характеристик измерительных приборов ,их качества и способов получения измерительной информации:

1) характеристик измерительных приборов:

- разрешающей способности, определяемой дифракцией света,

-аберраций, определяемых формой поверхности и неточностью ее изготовления

2) качества сборки и юстировки измерительной установки,

3) точности согласования отдельных измерительных приборов,

4) свойств тест-объекта: формы, освещенности, контраста,

5) способов наводок и регистрации ( визуальный, фотографический, фотоэлектрический), которые в свою очередь зависят от:

- формы и контраста отсчетных элементов,

- способов нав.одок(совмещений),

- чувствительности наводок (поперечные и продольные),

- времени запаздывания ФПУ и исполнительных устройств.

Наилучшие результаты измерения (т.е. дающие наименьшую погрешность) получаются при оптимальных значениях параметров отдельных ее элементов: согласование объекта измерения и измерительного прибора по чувствительности (S), разрешающей способности(), апертурному углу (), освещенности(Е), контрасту(К), быстродействию(), входному и выходному зрачку(Д , Д^:’). Например: при визуальных наблюдениях наилучшими результатами измерения являются: при Е=50-250лк, К=1, Д’=2мм, =0,556мкм при этом гарантируется: _гл1^’(по лин. величине), _гл10^”(по контрасту), L_ф=0,1мкм (по волновому фронту).

2.1.3.Погрешности поперечных наводок

На Рис.2.2 обозначены: HH^’- главная плоскость окуляра, -апертурный угол,  -предельный угол, L_ф- отклонение волнового фронта.

Н Н^’вых. зр.

-f Д^’

у А₁

А₂  

Рис.2.2 L_ф

Пусть А₁-след измерительного штриха сетки, А₂- изображение точки, которое создано предшествующей частью оптической системы, А₁А₂=у у=  = ^‘’ ,считая  Д^’  , L_фД^’^‘ Д^’  следует, что

у Д^’   L_ф Д^’L_ф   а   ,где а=0,05 , при L_ф =0,1мкм ,Д^’=2мм =10^”а также имеем формулу Захарьевского:

у     (мкм)

Значение =10” взято как среднее значение , а точнее оно зависит не только от контраста , но и от освещенности и вида марки и шкалы. Ниже приведены погрешности поперечных наводок от вида марки и биссектора.

Визуальные способы наведения

вид поля