Приложение 5 Методы оценки эффективности теоретических дипломных нир

Пример П5.1

Технико-экономическая эффективность результатов НИР

Наличие глубоких уровней в полупроводнике влияет на параметры приборов, изготовленных па этом материале. Для исследования глубоких уровней, как правило, используются методы, основанные на измерении параметров приборных структур: р–n переходов, барьеров Шоттки, МДП-структур. Наиболее распространенными являются методы РСГУ, фотоотклика, вольт-фарадных характеристик. Для оценки экономической эффективности рассмотрим каждый метод в отдельности.

1. Метод измерения фотоотклика. При применении этого метода измеряется зависимость проводимости материала от энергии падающих па образец квантов электромагнитного излучения. При энергии квантов, равной глубине залегания уровня, наблюдается резкое изменение фотопроводимости. Применение метода затруднительно, если в материале образца имеются дефекты с разными уровнями. Этим методом можно исследовать полупроводниковые материалы и оптоэлектронные приборы. Для исследования большинства приборов необходимо вскрывать их корпуса. Следовательно, метод не является точным и надежным для всех приборов,

2. Метод вольт-фарадных характеристик требует создания МДП-структуры и проведения измерений до и после образования глубоких уровней в полупроводнике. Метод пригоден преимущественно для лабораторных исследовании материала и является достаточно экономичным.

3. Метод РСГУ заключается в измерении скорости эмиссии носителей заряда с глубоких уровней при различной температуре, что позволяет определять глубину залегания и сечения захвата глубоких уровней, а также концентрацию глубоких уровней и их распределение по глубине образца. Метод связан с трудоемкой математической обработкой большого числа экспериментальных данных. Если производить эти расчеты вручную, то вычисление параметра одного уровня занимает 40 мин.

Качественная оценка сравниваемых методов приведена в табл. П5.1. Наиболее высокая оценка сравнительной характеристики соответствует пяти баллом, самая низкая – одному баллу.

Таблица П5.1

Основные факторы, характеризующие качественную оценку исследуемых методов измерения

Сравниваемые характеристики	Метод фотоотклика	Метод вольт-фарадных характеристик	Метод РСГУ
Точность	+	+ +	+ + + + +
Надежность	+	+ +	+ + + + +
Простота (сложность)	+ +	+ + + + +	+ + + +
Воспроизводство результатов	+ +	+ + + +	+ + + + +
Информативность	+	+ +	+ + + + +
Сумма баллов	8	15	24

Количественная оценка сравниваемых методов приведена в табл. П5.2. В расчетах учитывалось время (оперативность) на выполнение одинакового комплекса работ по проведению исследования (время на подготовительные работы, оперативное время, время на обработку результатов). В расчетах принималось, что время на проведение полного комплекса работ: 10 дней – для метода фотоотклика; 20 дней – для метода вольт-фарадных характеристик; 30 дней – для метода РСГУ. Действительный фонд работы в течение года составлял 251 день (365 – 104 – 10).

Таблица П5.2