- •Вакуумна техніка
- •Бібик в.В., Гричановська т.М.,
- •© Бібик в.В., Гричановська т.М., 2014
- •Розділ 1 теоретичні основи вакуумної техніки
- •1.1 Газові закони
- •1.2 Розподіл молекул газу за швидкостями
- •1.3 Тиск. Ступені вакууму
- •2.1. Взаємодія газів з твердими тілами
- •Питання і задачі до розділу 1
- •Розділ 2 фізичні явища і процеси у вакуумі
- •2.2. Конденсація та випаровування.
- •Адсорбція газів і пари
- •2.5.В’язкість газів. Перенесення теплоти у вакуумі
- •2.6 Електричні явища у вакуумі
- •2.7 Теоретичні основи процесу відкачування
- •Запитання і задачі до розділу 1
- •Розділ 3 методи отримання вакууму
- •3.1 Отримання вакууму та класифікація вакуумних насосів
- •3.3 Об’ємне відкачування. Об’ємні насоси
- •3.3.1 Поршневі насоси
- •3.3.2 Обертальні насоси Пластинчасто-роторні насоси
- •Пластинчасто-статорні насоси
- •Рідинно - кільцеві насоси
- •Золотниковий (плунжерний) насос
- •Робочі рідини обертальних насосів
- •3.3.3 Обертальні безмасляні насоси
- •3.4 Молекулярні насоси
- •3.4.1 Механічні молекулярні насоси
- •Молекулярні насоси.
- •Турбомолекулярні насоси
- •3.4.2 Дифузійні молекулярні (пароструминні) насоси
- •12. 11. Запуск і зупинка пароструминних насосів
- •Запитання для самоперевірки
- •3.5 Сорбційні насоси
- •3.5.1 Іонно-сорбційні насоси (іонно-гетерні)
- •3.5.2. Адсорбційні насоси
- •3.5.3 Кріогенні(конденсаційні насоси)
- •Розділ 4 вакуумні уловлювачі та їх експлуатація
- •4.1. Призначення та основні вимоги,
- •4.2. Механічні уловлювачі
- •4.3. Низькотемпературні охолоджувані (виморожувальні) уловлювачі
- •4.4. Адсорбційні уловлювачі
- •4.5. Гарячі (термічні) уловлювачі
- •4.6. Електричні (газорозрядні) уловлювачі
- •Розділ 5 вимірювання тиску розріджених газів
- •4.1 Деформаційні вакуумметри
- •4.2 Гідростатичні вакуумметри
- •4.3 Теплові вакууметри
- •4.4 Іонізаційні вакууметри
- •Магнітні вакуумметри
- •Радіоізотопні перетворювачі
- •Вимірювання парціальних тисків
- •16. 2. Омегатрон
- •16. 3. Тропатрон
- •6.2 Нероз’ємні вакуумні з’єднання
- •6.3 Розбірні вакуумні з'єднання
- •6.3.1Розбірні з'єднання з гумовими прокладками.
- •6.3.2 Розбірні з'єднання з металевими ущільнювачами.
- •6.4 Рухомі вакуумні з’єднання.
- •6.3.3 Передача руху у вакуум.
- •Розділ 8 Надвисокий вакуум
- •8.1 Отримання надвисокого вакууму.
- •Вимірювання надвисокого вакууму.
- •Розділ 9 Проектування вакуумних систем
- •9.1. Принципові вакуумні схеми
- •Вакуумні системи і елементи їх розрахунку
- •17. 1. Основні елементи вакуумних систем
- •17. 2. Типові вакуумні системи
- •17. 3. Розрахунок тривалості відкачки вакуумної системи
- •Запитання для самоперевірки
- •Розділ6 матеріали і конструкції вакуумних систем
- •6.3.2 Розбірні з'єднання з металевими ущільнювачами.
3.3 Об’ємне відкачування. Об’ємні насоси
Даний тип насосів здійснює видалення газів за рахунок періодичної зміни об’єму робочої камери всередині насосу. Такі насоси можуть починати свою роботу з атмосферного тиску.
У процесі об’ємної відкачки відбуваються наступні процеси:
всмоктування газу за рахунок різниці робочого об’єму камери насосу;
зменшення робочого об’єму камери та стискування газу, що знаходиться в ній;
видалення стиснутого газу з робочого об’єму камери насосу в атмосферу або насос попереднього розрідження.
Зобразимо діаграму роботи насосів об’ємної дії (залежності Pk, Vk від t) рис.3.1.
|
Рисунок 3.1 - Діаграма роботи насосів об’ємної дії |
Інтервал І - відбувається всмоктування молекул газу в насос впродовж часу t1.
Інтервал ІІ - стиснення та перенесення газу впродовж часу t1 – t3.
Інтервал ІІІ - вихід газу в атмосферу протягом часу t3 – t4.
Криві 1 та 3 показують зміну робочого об’єму Vk та тиску в камері насосу Pk від часу t.
Крива 2 показує зміну тиску в камері насосу з напуском баластного газу в момент часу t2.
Баластний газ впускається в об’єм камери насосу при відкачуванні парів або органічних розчинів. Напуск баластного газу знижує ступінь стискання та запобігає конденсації газів в об’ємі камери насосу.
3.3.1 Поршневі насоси
У даних насосах відкачування здійснюється за рахунок періодичної зміни робочого об’єму V камери циліндричного насосу. Циліндри можуть бути простої або подвійної дії з водяним або повітряним охолодженням. Швидкість руху поршня не перевищує 1 м/с. Принцип роботи поршневого насосу показано на рис. 3.3
-
Рисунок 3.3 – Принцип роботи поршневого насосу: 1 - вхідний клапан; 2 - вихідний клапан
При русі поршня вгору вхідний клапан 1 відкривається і відкачуваний об’єм камери V0 з’єднується з робочим об’ємом насосу, який збільшується від ΔV до Vmax.
Відповідно до закону Бойля – Маріота, початковий тиск P0 знизиться до величини P1 і обидва ці стани можна зв’язати рівнянням:
(3.1)
При русі поршня вниз відбувається стиснення газу, що приводить до закривання вхідного клапану 1 та відкривання клапану 2 , через який газ виходить в атмосферу.
Після n циклів відкачування тиск у об’ємі буде описуватися виразом:
,
(3.3)
З рівняння 3.2 видно, що теоретично при досить великій кількості циклів відкачування Pграничн. поршневого насоса повинен прямувати до нуля. Однак, навіть у випадку ідеального ущільнення поверхні між поршнем і стінкою насоса, слід мати на увазі кінцеве значення пружності пари ущільнюючого мастила та наявність паразитного простору ΔV, з якого газ у нижньому положенні поршня не видаляється. У цьому випадку тиск у шкідливому просторі буде дорівнювати атмосферному. Тиск Рmin у циліндрі для верхнього положення поршня можна обчислити :
,
(3.3)
Граничний тиск поршневих насосів Рграничн. коливається в інтервалі 1-0,1 мм.рт.ст.
Швидкість дії сучасних поршневих насосів складає від 10 до 4000 л/с. Вони починають свою роботу з атмосферного тиску.
Швидкість дії поршневого насосу визначається зі співвідношення:
,
(3.4)
де n – кількість циклів переміщення поршня за одиницю часу;
Рграничн – граничний тиск насоса.
Недоліки даних насосів: нерівномірність процесу відкачки газів; великі втрати на тертя ~200 Вт/(на л/с швидкості дії); велика питома маса від 10 до 20 кг/(на л/с швидкості дії).
