- •Вакуумна техніка
- •Бібик в.В., Гричановська т.М.,
- •© Бібик в.В., Гричановська т.М., 2014
- •Розділ 1 теоретичні основи вакуумної техніки
- •1.1 Газові закони
- •1.2 Розподіл молекул газу за швидкостями
- •1.3 Тиск. Ступені вакууму
- •2.1. Взаємодія газів з твердими тілами
- •Питання і задачі до розділу 1
- •Розділ 2 фізичні явища і процеси у вакуумі
- •2.2. Конденсація та випаровування.
- •Адсорбція газів і пари
- •2.5.В’язкість газів. Перенесення теплоти у вакуумі
- •2.6 Електричні явища у вакуумі
- •2.7 Теоретичні основи процесу відкачування
- •Запитання і задачі до розділу 1
- •Розділ 3 методи отримання вакууму
- •3.1 Отримання вакууму та класифікація вакуумних насосів
- •3.3 Об’ємне відкачування. Об’ємні насоси
- •3.3.1 Поршневі насоси
- •3.3.2 Обертальні насоси Пластинчасто-роторні насоси
- •Пластинчасто-статорні насоси
- •Рідинно - кільцеві насоси
- •Золотниковий (плунжерний) насос
- •Робочі рідини обертальних насосів
- •3.3.3 Обертальні безмасляні насоси
- •3.4 Молекулярні насоси
- •3.4.1 Механічні молекулярні насоси
- •Молекулярні насоси.
- •Турбомолекулярні насоси
- •3.4.2 Дифузійні молекулярні (пароструминні) насоси
- •12. 11. Запуск і зупинка пароструминних насосів
- •Запитання для самоперевірки
- •3.5 Сорбційні насоси
- •3.5.1 Іонно-сорбційні насоси (іонно-гетерні)
- •3.5.2. Адсорбційні насоси
- •3.5.3 Кріогенні(конденсаційні насоси)
- •Розділ 4 вакуумні уловлювачі та їх експлуатація
- •4.1. Призначення та основні вимоги,
- •4.2. Механічні уловлювачі
- •4.3. Низькотемпературні охолоджувані (виморожувальні) уловлювачі
- •4.4. Адсорбційні уловлювачі
- •4.5. Гарячі (термічні) уловлювачі
- •4.6. Електричні (газорозрядні) уловлювачі
- •Розділ 5 вимірювання тиску розріджених газів
- •4.1 Деформаційні вакуумметри
- •4.2 Гідростатичні вакуумметри
- •4.3 Теплові вакууметри
- •4.4 Іонізаційні вакууметри
- •Магнітні вакуумметри
- •Радіоізотопні перетворювачі
- •Вимірювання парціальних тисків
- •16. 2. Омегатрон
- •16. 3. Тропатрон
- •6.2 Нероз’ємні вакуумні з’єднання
- •6.3 Розбірні вакуумні з'єднання
- •6.3.1Розбірні з'єднання з гумовими прокладками.
- •6.3.2 Розбірні з'єднання з металевими ущільнювачами.
- •6.4 Рухомі вакуумні з’єднання.
- •6.3.3 Передача руху у вакуум.
- •Розділ 8 Надвисокий вакуум
- •8.1 Отримання надвисокого вакууму.
- •Вимірювання надвисокого вакууму.
- •Розділ 9 Проектування вакуумних систем
- •9.1. Принципові вакуумні схеми
- •Вакуумні системи і елементи їх розрахунку
- •17. 1. Основні елементи вакуумних систем
- •17. 2. Типові вакуумні системи
- •17. 3. Розрахунок тривалості відкачки вакуумної системи
- •Запитання для самоперевірки
- •Розділ6 матеріали і конструкції вакуумних систем
- •6.3.2 Розбірні з'єднання з металевими ущільнювачами.
Розділ 1 теоретичні основи вакуумної техніки
Стан газу, при якому його тиск нижчий атмосферного, називається вакуумом. Властивості газів за низьких тисків вивчаються фізикою вакууму, яка є розділом молекулярно-кінетичної теорії (МКТ) газів. Отже, газові закони і співвідношення статистичної фізики поширюються і на вакуум.
1.1 Газові закони
Процеси, що відбуваються в макроскопічних системах, які складаються з великої множини мікроскопічних часток, наприклад атомів або молекул, можуть бути описані двома методами: статистичним і феноменологічним або термодинамічним.
Термодинаміка в цілому базується на декількох основних положеннях (началах), що є узагальненням великої кількості накопичених експериментальних даних. Термодинамічний метод, не спираючись ні на які модельні уявлення, має велику загальність, велику простоту і після математичних розрахунків приводить до рішення цілого ряду важливих задач.
Як
відомо, тиск газу (
)
на стінки посудини обумовлений ударами
молекул. Чим більша кінетична енергія
поступального руху кожної молекули,
тим більша сила, що виникає при її ударі
об стінку. Окрім цього, чим більша
концентрація молекул, тим частіше вони
зтикаються зі стінкою. Отже, тиск газу
з позицій МКТ є сумарний імпульс сили,
яка внаслідок теплового руху передається
ударами молекул газу в одиницю часу на
одиниці поверхні. Такий підхід дав
можливість вивести основне рівняння
молекулярно-кінетичної теорії ідеального
газу, що має наступний вигляд:
або
,
(1.1)
де
- концентрація молекул;
- середня кінетична енергія поступального
руху молекул;
- абсолютна температура газу;
=1,38·10-23Дж/К
– постійна Больцмана.
Наслідком записаної закономірності є закон Дальтона: тиск суміші газів дорівнює сумі парціальних (часткових) тисків його компонент, тобто
(1.2)
При відсутності зовнішніх силових полів ідеальний газ являє собою просту термодинамічну систему і характеризується одним зовнішнім параметром (об’ємом V), одним внутрішнім (тиском р) і температурою T. Рівняння, що зв’язує ці параметри при незмінній масі, називається рівнянням стану. У загальному вигляді рівняння може бути записане як
або
Таким рівнянням для ідеального газу власно кажучи є основне рівняння молекулярно-кінетичної теорії (1.1). Дійсно, у цьому рівнянні пов’язані всі параметри стану
Якщо підставити наступні величини: R=8,314510 Дж/мольК універсальна газова стала, m маса розглянутого газу, M молярна маса, то отримаємо рівняння Клапейрона-Менделєєва
(1.3)
Рівняння стану ідеального газу є першим наближенням до стану реального газу. Воно добре описує реальні процеси, що відбуваються з газом при невеличких концентраціях речовини і достатньо високих температурах. Наслідком співвідношення (1.3) є ряд газових законів для ізопроцесів.
Процеси, при яких маса газу і один із його термодинамічних параметрів залишаються постійними, називаються ізопроцесами.
Ізотермічний процес відбувається при постійній температурі (Т=const) і незмінній масі (m=const). У цьому випадку одержуємо рівняння ізотерми ідеального газу
(1.4)
Це рівняння виражає закон Бойля-Маріотта. Ізотерми ідеального газу при трьох температурах приведені на рис. 1.1.
|
Рис.1.1. Ізотерми для однієї маси газу при різних температурах |
Ізотермічні процеси характеризуються ізотермічною стисливістю
Знак мінус у правій частині вказує на те, що приріст об’єму і тиску, як правило, має різні знаки.
Ізобарний процес здійснюється в системі при сталому тиску (p=const) і незмінній масі (m=const). Рівняння ізобари виражає закон Гей-Люссака, що має вигляд
(1.5)
Графіки ізобар приведені на рис. 1.2. Закон Гей-Люссака виконується тільки при достатньо високих температурах, коли коректними можуть вважатися обмеження моделі ідеального газу. При зниженні температури, коли відстані між молекулами стають порівнянними з їхніми розмірами, спостерігається відхилення залежності від лінійної і на графіках ця область зображена пунктиром.
|
Рис.1.2. Ізобари для однієї маси газу при різних значеннях тисків |
Часто рівняння ізобари записують у вигляді
де V0 об’єм при 0 0С, V об’єм при даній температурі, t температура у 0С, термічний коефіцієнт об’ємного розширення, що визначається за співвідношенням:
При відносно невеликих тисках, коефіцієнт об’ємного розширення однаковий для всіх газів =1/273=0,003661 0С1.
Ізохорний процес відбувається при сталому об’ємі (V=const) і незмінній масі (m=const). Експериментально було встановлено закон Шарля:
(1.6)
Графіки ізохор для трьох значень об’ємів наведені на рис. 1.3.
|
Рис.1.3. Ізохори для однієї маси газу при різних значеннях об’ємів |
Рівняння ізохорного процесу може бути записане у вигляді:
де р0 тиск при 00С; р тиск при температурі t0C; =0,0036610С1 термічний коефіцієнт тиску, що визначається за співвідношенням:
Закон виконується тільки в області достатньо високих температур, де дійсно можна зневажати в розрахунках розмірами молекул. При зниженні температури, коли міжмолекулярна взаємодія стає істотною, спостерігається відхилення залежності від лінійної.
