- •Вакуумна техніка
- •Бібик в.В., Гричановська т.М.,
- •© Бібик в.В., Гричановська т.М., 2014
- •Розділ 1 теоретичні основи вакуумної техніки
- •1.1 Газові закони
- •1.2 Розподіл молекул газу за швидкостями
- •1.3 Тиск. Ступені вакууму
- •2.1. Взаємодія газів з твердими тілами
- •Питання і задачі до розділу 1
- •Розділ 2 фізичні явища і процеси у вакуумі
- •2.2. Конденсація та випаровування.
- •Адсорбція газів і пари
- •2.5.В’язкість газів. Перенесення теплоти у вакуумі
- •2.6 Електричні явища у вакуумі
- •2.7 Теоретичні основи процесу відкачування
- •Запитання і задачі до розділу 1
- •Розділ 3 методи отримання вакууму
- •3.1 Отримання вакууму та класифікація вакуумних насосів
- •3.3 Об’ємне відкачування. Об’ємні насоси
- •3.3.1 Поршневі насоси
- •3.3.2 Обертальні насоси Пластинчасто-роторні насоси
- •Пластинчасто-статорні насоси
- •Рідинно - кільцеві насоси
- •Золотниковий (плунжерний) насос
- •Робочі рідини обертальних насосів
- •3.3.3 Обертальні безмасляні насоси
- •3.4 Молекулярні насоси
- •3.4.1 Механічні молекулярні насоси
- •Молекулярні насоси.
- •Турбомолекулярні насоси
- •3.4.2 Дифузійні молекулярні (пароструминні) насоси
- •12. 11. Запуск і зупинка пароструминних насосів
- •Запитання для самоперевірки
- •3.5 Сорбційні насоси
- •3.5.1 Іонно-сорбційні насоси (іонно-гетерні)
- •3.5.2. Адсорбційні насоси
- •3.5.3 Кріогенні(конденсаційні насоси)
- •Розділ 4 вакуумні уловлювачі та їх експлуатація
- •4.1. Призначення та основні вимоги,
- •4.2. Механічні уловлювачі
- •4.3. Низькотемпературні охолоджувані (виморожувальні) уловлювачі
- •4.4. Адсорбційні уловлювачі
- •4.5. Гарячі (термічні) уловлювачі
- •4.6. Електричні (газорозрядні) уловлювачі
- •Розділ 5 вимірювання тиску розріджених газів
- •4.1 Деформаційні вакуумметри
- •4.2 Гідростатичні вакуумметри
- •4.3 Теплові вакууметри
- •4.4 Іонізаційні вакууметри
- •Магнітні вакуумметри
- •Радіоізотопні перетворювачі
- •Вимірювання парціальних тисків
- •16. 2. Омегатрон
- •16. 3. Тропатрон
- •6.2 Нероз’ємні вакуумні з’єднання
- •6.3 Розбірні вакуумні з'єднання
- •6.3.1Розбірні з'єднання з гумовими прокладками.
- •6.3.2 Розбірні з'єднання з металевими ущільнювачами.
- •6.4 Рухомі вакуумні з’єднання.
- •6.3.3 Передача руху у вакуум.
- •Розділ 8 Надвисокий вакуум
- •8.1 Отримання надвисокого вакууму.
- •Вимірювання надвисокого вакууму.
- •Розділ 9 Проектування вакуумних систем
- •9.1. Принципові вакуумні схеми
- •Вакуумні системи і елементи їх розрахунку
- •17. 1. Основні елементи вакуумних систем
- •17. 2. Типові вакуумні системи
- •17. 3. Розрахунок тривалості відкачки вакуумної системи
- •Запитання для самоперевірки
- •Розділ6 матеріали і конструкції вакуумних систем
- •6.3.2 Розбірні з'єднання з металевими ущільнювачами.
3.3.2 Обертальні насоси Пластинчасто-роторні насоси
Даний тип насосів характеризується наявністю в конструкції насосів пластин, які в одному типі насосів обертаються разом з ротором (пластинчасто-роторні та багатопластинчасті насоси), а в іншому типі розміщені в статорі (пластинчасто-статорні насоси). До цих насосів також відносять золотникові (плунжерні) насоси.
|
Рисунок 3.5 - Пластинчасто-роторний насос: 1 – ротор; 2 – статор; 3 – пружина; 4, 5 – пластини; ab – дотична; 6 – вхідний патрубок; 7 – вихідний клапан |
При
обертанні ексцентрично-розміщеного
ротора 1 об’єм А збільшується та
відбувається всмоктування газу з робочої
камери. Одночасно об’єм
С зменшується, що призводить до стискання
газу та видалення його через випускний
клапан 7. Ротор, статор і пластини
утворюють три об’єми:
А – впускний об’єм;
В – об’єм перенесення;
С – випускний об’єм.
Марки насосів даного типу: 2НВР-5ДМ, НВР-16.
Недолік даного типу насоса: наявність шкідливих просторів (рис.3.6).
Рисунок 3.6 – Шкідливий простір пластинчасто-роторного насосу
Граничний вакуум пластинчасто-роторних насосів Pгр=10-1-10-2 мм.рт.ст. (одноступеневі насоси) та Pгр=10-3 мм. рт. ст. (двоступеневі насоси). На рис. 3.7 показано схему роботи двохступеневого пластинчасто-роторного насосу. Дві ступені з’єднані послідовно. Ступені виготовляються в одному блоці.
Рисунок 3.7 – Двоступінчастий пластинчасто-роторний насос
На рис. 3.8 показано типовий хід Sn=f(p) – характеристик для одноступеневого (крива 1) та двоступеневого (крива 2) пластинчасто-роторних насосів.
Рисунок 3.8 – Залежність Sn=f(p) для одноступеневого (крива 1) та двоступеневого (крива 2) пластинчасто-роторних насосів
За один оберт ротора видаляється об’єм газу, що дорівнює:
Недоліки даного насосу відсутні в конструкції пластинчасто-статорного насосу.
Пластинчасто-статорні насоси
Принцип роботи пластинчасто-статорного насоса показано на рис.3.9.
|
Рисунок 3.9 - Пластинчасто-статорний насос: 1 – ротор;2 – статор (корпус); 3 – пластина; 4 – пружина; 5 – впускний клапан; 6 – випускний клапан |
У даному типі насоса пластина 3 розміщена в корпусі (статорі) 2. Через те, що ротор 1 розміщений ексцентрично відносно статора 2 і обертається навколо осі симетрії циліндричної порожнини статора, пластина під дією пружини може брати участь у зворотно-поступальному русі, розділяючи робочу камеру на дві порожнини: всмоктувальну А та вихідну В. При обертанні ротора в напрямку, указаному стрілкою, об’єм простору А збільшується та відбувається всмоктування газу. У той же час об’єм простору В зменшується, що приводить до стиснення газу та виштовхування його через випускний клапан 6 в атмосферу.
У пластинчасто-статорному насосі за один оберт ротора видаляється об’єм газу, що дорівнює робочому об’єму камери насоса (простір А плюс простір В). Тому швидкість дії насоса визначається за тією самою формулою, що й для пластинчасто-роторного насосу. Весь агрегат насоса розміщується в масляній ванні.
Граничний вакуум двохступеневого пластинчасто-статорного насосу може досягати величини Ргр=10-4 мм.рт.ст.
На рис.3.10 показано конструкцію багатопластинчасто-статорного обертального насоса.
Рисунок 3.10 - Конструкція багатопластинчастого-статорного обертального насоса:
1 – статор; 2 – ротор; 3 – пластини; 4 – газобаластний клапан
У циліндричній камері статора 1 обертається ексцентрично розміщений ротор 2, у поздовжніх пазах якого знаходяться пластини 3. При обертанні ротора, пластини щільно прилягають до поверхні статора й утворюють велику кількість різних за об’ємом комірок (камер), які послідовно заповнюються газом.
У крайньому верхньому положенні відбувається відключення кожної комірки від впускного патрубка і при подальшому обертанні ротора 2, об’єм комірки поступово зменшується, а газ, що в ній знаходиться, стискається та виштовхується в атмосферу через випускний патрубок насоса.
Внутрішній об’єм багатопластинчастих насосів на відміну від описаних вище пластинчастих не заповнюється маслом. Масло подається лише в невеликих кількостях для змащення поверхонь тертя. Це дозволяє збільшити швидкість обертання ротора та збільшити швидкість дії насоса.
Для зменшення впливу шкідливих ( паразитних) просторів на граничний тиск кожна комірка з’єднується каналом 4 з коміркою, що знаходиться в положенні перед початком стискання.
Одноступеневі багатопластинчасті насоси забезпечують граничний тиск Ргр=10 мм.рт.ст., а двоступеневі Ргр=1-0,5 мм рт. ст..
Покажемо на графіку залежність швидкості дії багатопластинчастого насоса від впускного тиску для одноступінчастих (1) та багатоступінчастих (2) багато пластинчастих насосів (рис. 3.11).
Рисунок 3.11 – Залежності Sn=f(p) для одноступеневого (крива 1) та двохступеневого (крива 2) багатопластинчастого насосів
