Запитання для самоперевірки

1. З яких головних елементів складається вакуумна система?

2. Як розрізняють численні вакуумні системи за ступенем отримуємого вакууму і чим вони відрізняються?

3. Який газовий закон називають політропним?

4. Наведіть загальний вираз для розрахунку часу відкачки ваккумної системи

5. Коли необхідно враховувати вплив граничного тиска при розрахунках часу відкачки?

6. Як знаходять додатковий до граничного тиск, що створюється газовиділенням в вакуумній системі?

7. Як враховується зчини вакуумних магістралей?

ЗМІСТ

ВСТУП

1. РОЗДІЛ 1 ТЕОРЕТИЧНІ ОСНОВИ ВАКУУМНОЇ ТЕХНІКИ

1.1 Газові закони

1.2 Розподіл молекул газу за швидкостями

1.3 Тиск. Ступені вакууму

РОЗДІЛ 2ФІЗИЧНІ ЯВИЩА І ПРОЦЕСИ У ВАКУУМІ

2.1. Взаємодія газів з твердими тілами

2.2. Конденсація та випаровування.

2.3 Адсорбція газів і пари

2.4 Розчинність газів у твердих тілах. Дифузія

2.5.Вязкість газів. Перенесення теплоти у вакуумі

2.6 Електричні явища у вакуумі

2.7 Теоретичні основи процесу відкачування

РОЗДІЛ 3МЕТОДИ ОТРИМАННЯ ВАКУУМУ

3.1 Отримання вакууму та класифікація вакуумних насосів

3.2 Розрахунок вакуумної системи

3.3 Об’ємне відкачування. Об’ємні насоси

1. Поршневі насоси

2. Обертальні насоси

3.3.3 Обертальні безмасляні насоси

3.4 МОЛЕКУЛЯРНІ НАСОСИ

1. Механічні молекулярні насоси

2. Дифузійні молекулярні (пароструминні) насоси

4. Сорбційні насоси

3.5.1 Іонно-сорбційні насоси (іонно-гетерні)

3.5.2. Адсорбційні насоси

3.5.3 Кріогенні(конденсаційні насоси)

Розділ 4 ВАКУУМНІ УЛОВЛЮВАЧІ ТА ЇХ ЕКСПЛУАТАЦІЯ

4.1. Призначення та основні вимоги,

що висуваються до вакуумних уловлювачів

4.2. Механічні уловлювачі

4.3. Низькотемпературні охолоджувані (виморожувальні) уловлювачі

4.4. Адсорбційні уловлювачі

4.5. Гарячі (термічні) уловлювачі

4.6. Електричні (газорозрядні) уловлювачі

РОЗДІЛ 5 ВИМІРЮВАННЯ ТИСКУ РОЗРІДЖЕНИХ ГАЗІВ

1. Деформаційні вакуумметри

2. Гідростатичні вакуумметри

3. Теплові вакуумметри

5.4 Іонізаційні та магнітні вакуумметри

5.5 Радіоізотопні перетворювачі

5. 6 ВИМІРЮВАННЯ ПАРЦІАЛЬНИХ ТИСКІВ

Розділ6 матеріали і конструкції вакуумних систем

6.1 Властивості конструкційних матеріалів вакуумної техніки

6.2 Нероз’ємні вакуумні з’єднання

6.3 Розбірні вакуумні з'єднання

6.3.1Розбірні з'єднання з гумовими прокладками.

6.3.2 Розбірні з'єднання з металевими ущільнювачами.

6.4 Рухомі вакуумні з’єднання.

6.5 Передача руху у вакуум.

РОЗДІЛ 8 НАДВИСОКИЙ ВАКУУМ

8.1 Отримання надвисокого вакууму.

2. Вимірювання надвисокого вакууму.

Розділ 9 ВАКУУМНІ СИСТЕМИ І ЕЛЕМЕНТИ ЇХ РОЗРАХУНКУ

9. 1 Основні елементи вакуумних систем

9. 2 Типові вакуумні системи

9. 3 Розрахунок тривалості відкачки вакуумної системи

194