2. Вимірювання надвисокого вакууму.

Вимірювання надвисокого вакууму здійснюється електронними іонізаційними і магнітними електророзрядними вакуумметрами. Нижня межа тиску у перших визначається фотоелектронним струмом з іонного колектора під дією рентгенівського випромінювання з анода (що виникає при його електронному бомбардуванні). Існують іонізаційні вакуумметри спеціальної конструкції, в яких фоновий струм понижений. Найбільшого поширення набув манометр Байярда - Альперта; колектор іонів в нім є тонким осьовим стрижнем, на який потрапляє лише мала частина рентгенівського випромінювання анода. Нижня межа вимірювань ~10^{-10 мм рт. ст. Модулюючи іонний струм в манометрі Байярда - Альперта за допомогою спеціального електроду, вдається вимірювати тиск до 10-11 мм.рт.ст. Придушення фонового струму електричним полем додаткового електроду (супрессора) дозволяє вимірювати ще нижчий тиск (особливо у поєднанні з методом модуляції). Створені конструкції, в яких колектор екранований від попадання на нього рентгенівського випромінювання з анода. У манометрі Редхеда іони з області іонізації витягуються через отвір в екрані і за допомогою півсферичного рефлектора фокусуються на тонкий дротяний колектор. У манометрі Хельмера іонний потік, що виходить з отвору в екрані, відхиляється за допомогою 90º-ного кутового електростатичного дефлектора і прямує до колектора. У манометрі Грошковського тонкий дротяний колектор розташований напроти отвору в торці анодної сітки і захищений від рентгенівського випромінювання скляною трубкою. Описані прилади дозволяють вимірювати тиск до 10-12 мм.рт. ст., а в окремих випадках до 10-13 мм.рт.ст.}

Значне зменшення нижньої межі вимірюваного тиску може бути досягнуте за рахунок збільшення довжини пробігу електронів. У орбітронному манометрі подовження досягається за допомогою електричного поля, а в іонізаційному магнетронному манометрі (манометр Лафферті) - за допомогою магнітного поля. Цими приладами можна вимірювати тиск до 10^-12-10^{-13 мм.рт.cт. Магнітні електророзрядні вакуумметри, вживані для вимірювання Н. в., мають ряд особливостей: щоб забезпечити запалення і підтримку розряду при дуже низькому тиску, збільшують розміри розрядного проміжку, підвищують анодну напругу (5-6 кВ) і напруженість магнітного поля (>1000 э). Для виключення фонового струму, пов'язаного з тунельною емісією з ділянок катода, розташованих поблизу анода, ці ділянки оточують заземленими екранами.}

Для вимірювання парціанального тиску газів в умовах Н. в. застосовуються масспектрометри, наприклад омегатроном вдається вимірювати тиск до 10^{-10 мм.рт.ст., а статичним, квадрупольним і ін. масспектрометрами - до 10-12-10-13 мм.рт.cт.}

Розділ 9 Проектування вакуумних систем

9.1. Принципові вакуумні схеми

Правила виконання вакуумних схем регламенто­вані ГОСТ 2.797—81 (СТ СЕВ 2517—80). На принциповій схемі розміщують усі вакуумні елементи або пристрої, необхідні для реа­лізації і контролю вакуумних процесів та всі ва­куумні зв'язки між ними.

Елементи і пристрої на принци­повій вакуумній схемі зобра­жають за допомогою умовних графічних позначень відповідно до ГОСТ 2.721—74, ГОСТ 2.784—70, ГОСТ 2.785—70, ГОСТ 2.787—71, ГОСТ 2.796—81, ГОСТ 2.797—81 (таблиця. 1.1).

Розміри основних графічних позначень елементів приведені в таблиці 1.2. Вакуумні зв'язки зображають за допомогою ліній зв'язку, трубопроводи на схемі показують суцільними ос­новними лініями, незалежно від функ­ціонального призначення.

Кожен елемент (пристрій) ва­куумної системи, зображений на схемі, повинен мати літерно-цифро­ве позиційне позначення, яке складається із позначення елементу і порядкового номера, що проставляється після букви.

Буквені коди найбільш поширених видів елементів наведені нижче:

Пристрій	позначення	Пристрій	позначення
Насос вакуумний: Механічний	N1	Уловлювач: охолоджуваний рідиною	BW
двороторний (насос Рутса)	NZ	охолоджуваний повітрям	ВА
обертальний об'ємний без газо баласту	NV	охолоджувана рідиною що заливається в резервуар	BL
обертальний об'ємний га- зобалластный	NL	Сорбційна	BS
Водокільцевий	NW	Іонна	BE
Турбомолекулярний	NR	Вакуумметр: Деформаційний	PD
Струминний	NB	Рідинний	PL
Ежекторний	NH	Магнітний электророзрядиий	РМ
Комбінований	NP	Тепловий	РТ
Дифузійний	ND	Іонізаційний	РА
Сорбційний	NS	Термоелектричний	ВТ
Адсорбційний	NA	Камера вакуумна	CV
Випарний гетерний	NG	ковпак вакуумний	CN
Кріосорбційний	NC	Вентиль, клапан, затвор: тарільчатий (дисковий)	VT
Випарний іонний	NE	з електроприводом	VM
Кріогенний	NK	з пневмо- або гідроприводом	VP