Форма протокола измерений

Группа №		Ф. И. О.
Работа 18		Определение параметров шероховатости поверхности по профилограмме
Данные об измерительном приборе
Пределы измерения прибора
Вертикальное увеличение
Горизонтальное увеличение
Результаты измерений
№	yi		himax	himin		bi	Smi
1 2 3 4 5 ... N(n)	y1 ... ... ... ... ... yN		h1max h2max h3max h4max h5max	h1min h2min h3min h4min h5min		bi ... ... ... ... ... bn	Sm1 ... ... ... ... ... Smn
Ra = мкм; Rz = мкм; Rmax = мкм; Sm = мм; t50 = %
Заключение о годности

Р а б о т а 19

Определение параметров шероховатости поверхности на микроинтерферометре мии-4

Микроинтерферометр МИИ-4 предназначен для визуальной оценки и измерения высоты неровностей обработанной поверхности. Принцип работы и его схема были разработаны В. П. Линником. Прибор широко применяется для измерения параметров шероховатости на поверхностях с высокой чистотой обработки.

Микроинтерферометры измеряют параметры шероховатости поверхности Ra, Rz и S. Оптическая схема представляет собой сочетание интерферометра и микроскопа.

Схема микроинтерферометра приведена на рис. 19.1.

Рис. 19.1. Оптическая схема микроинтерферометра

Свет из осветительного устройства 1 проходит через сменный светофильтр 13 и разделяется на полупрозрачной пластине 4. Один световой поток проходит компенсационное стекло 5 и объектив 6, отражается от зеркала 7 и возвращается к пластине 4. Другой поток света проходит сменный объектив 3 и отразившись от поверхности исследуемого изделия 15, которое лежит на столике 2, тоже возвращается к пластине 4. Образующийся интерферирующий световой поток направляется объективом 8 через поворотное зеркало 9 в фокальную плоскость окулярного микрометра 10.

Н аблюдаемая интерференционная картина может быть сфотографирована с помощью зеркала 11, которое дает изображение через объектив 12 на фотоаппарат 14. Зеркало 9 при этом выводят из хода лучей. Неровность исследуемой поверхности приводит к искривлению интерференционных полос (рис. 19.2).

Значения микронеровности R измеряются по отношению высоты а искривления полос к расстоянию между полосами b: R = a/2b (рис. 19.3). Измерения можно производить с помощью окуляр-микрометра. По результатам измерения вычисляют параметр Rz. Если используется желтый свет с длиной волны  = 0,55 мкм, то R = 0,27а/b мкм. Для определения параметра Ra фотографируют интерференционную картину и обрабатывают фотографию на проекторе.

Микроинтерферометр МИИ-4 позволяет измерить шероховатость поверхности по параметру Rz и R_max от 0,01 до 1 мкм, а по параметру S – от 0,02 до 0,25 мм.

Микроинтерферометр МИИ-4 (рис. 19.4) имеет цилиндрическое основание 7, на которое установлен измерительный стол 1 с микрометрическими винтами 3. При помощи двух микрометрических винтов 3 столик можно перемещать в двух взаимно перпендикулярных направлениях, пределы перемещения стола 10 мм. Измеряемое изделие 2 кладут на стол проверяемой поверхностью вниз. Винтом точной настройки 6 фокусируют объектив прибора. Поворотом корпуса зеркала 4 и винта 5 изменяют ширину и направление интерференционных полос. Ручка 10 закрывает интерференционное зеркало шторкой, что позволяет рассматривать поверхность без интерференционной картины. В корпусе под углом 70 к вертикальной оси расположен визуальный тубус с окулярным микрометром 9, который дает возможность 530-кратного увеличения измеряемой поверхности. Величину шероховатости измеряют с помощью окулярного микрометра. Фотокамера 8 служит для фотографирования интерференционной картины с целью ее дальнейшей обработки. При визуальном наблюдении или измерении поворотное зеркало должно быть введено в оптическую систему, а при фотографировании выведено.

Рис. 19.4. Микроинтерферометр МИИ-4