Порядок выполнения работы

1. Настроить прибор. Для этого необходимо его включить, положить на столик 1 (см. рис. 19.4) деталь исследуемой поверхностью вниз (к объективу, расположенному внутри корпуса). Произвести настройку освещения, для чего перемещением патрона установить нить лампы так, чтобы ее изображение было резко видно в зрачке объектива. Изображение нити лампы и зрачок объектива хорошо видны при вынутом окуляре 9. С помощью винтов 3 отцентрировать изображение нити лампы относительно зрачка объектива, диафрагма при этой должна быть полностью открыта, для чего 5 повернуть в крайнее положение.

С помощью микрометрического винта 6 сфокусировать прибор на исследуемую поверхность. Поворотом рукоятки 10 включить правую часть интерференционной головки – стрелка на рукоятке должна быть в горизонтальном положении; при этом в поле зрения должны быть видны интерференционные полосы. С помощью винта 6 добиться наиболее резкого изображения полос у исследуемой поверхности.

Установить необходимый интервал между полосами вращением винта 5 вокруг своей оси. Поворотом винта 5 вокруг оси интерференционной головки установить интерференционные полосы перпендикулярно к штрихам на исследуемой поверхности. При правильной настройке прибора в его поле зрения должны быть видны одновременно исследуемая поверхность и интерференционные полосы, изогнутые в местах, где проходят микронеровности, причем, интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно к направлению микронеровности (см. рис. 19.2).

2. Определить высоту неровности. Для этого необходимо измерить величину интервала между полосами b и величину изгиба полос а в долях интервала. Величина интервала между полосами выражается числом делений шкалы барабана окулярного микрометра. Для большей точности измерения необходимо наводить нить перекрестия окулярного микрометра по середине, а не по краю полосы.

На рис. 19.3 показан вид поля зрения прибора в увеличенном масштабе и указано расположение горизонтального штриха перекрестия окулярного микрометра при измерении.

Первый отсчет производится по шкалам окулярного микрометра при совмещении одной из нитей перекрестия с серединой верхнего края полосы Х₁; затем совмещают положение горизонтального штриха с нижнего края этой же полосы Х₂, третий отсчет Х₃ получают совмещением горизонтальной нити со срединой нижнего края следующей полосы.

Величина изгиба в долях интервала выражается формулой:

При работе с желтым светофильтром расстояние между двумя соседними интерференционными полосами равное половине длины волны составляет 0,27 мкм. Поэтому высота неровностей в этом случае будет:

мкм.

3. Для определения параметра Rz повторить это измерение пять раз и найти среднее между пятью значениями.

4. Дать заключение о годности сравнив измеренное значение с данными полученными у преподавателя.

5. Оформить отчет по прилагаемой форме.

Форма протокола измерений

Группа №	Ф. И. О.
Работа 19	Измерение параметров шероховатости поверхности с помощью микроинтерферометра
Данные об измерительном приборе
Модель микроинтерферометра
Пределы измерения высоты микронеровности, мкм
Длина волны используемого света, мкм
Схема измерения (Рис. 19.3)		Показания прибора, дел
		№	Х1	Х2			Х3
		1
		2
		3
		4
		5
		Значение Ri
		№	деления		мкм
		1
		2
		3
		4
		5
		Среднее RСР. = мкм
Высота неровности профиля по десяти точкам: Rz = мкм
Обозначение на чертеже и заключение о годности

Р а б о т а 20