- •Микроэлектроника
- •§ II.1.2. Виды химической связи между атомами
- •§ II.1.3. Равновесное, состояние решетки
- •§ II.1.4. Реальные кристаллы
- •Глава 2. Диффузионные процессы в твердых телах
- •§ II.2.1. Механизм диффузии
- •§ II.2.2. Математическая теория диффузионных процессов
- •§ II.2.3. Диффузия примесей в германии и кремнии
- •§ II.2.4. Окисление кремния
- •Глава 3. Зонная теория твердого тела
- •§ II.3.1. Уравнение Шредингера, для кристалла
- •§ II.3.2. Энергетические зоны
- •§ II.3.3. Зоны Бриллюэна
- •§ II.3.4. Степень заполнения энергетических зон
- •§ II.3.5. Энергетические уровни дефектов и примесей в полупроводниках
- •Глава 4 статистика носителей заряда в твердом теле
- •§ II.4.1. Функции распределения частиц по энергиям
- •§ II.4.2. Сравнение функций распределения
- •§ II.4.3. Концентрация носителей заряда в собственном и слабо легированном полупроводниках
- •§ II.4.4. Концентрация носителей заряда в сильно легированном полупроводнике и металле
- •Глава 5 явления переноса носителей заряда в твердом теле
- •§ II.5.1. Электропроводность полупроводников и металлов
- •§ II.5.2. Механизмы рассеяния и подвижность свободных носителей заряда
- •§ II.5.3. Особенности контактных явлений
- •Глава 6 оптические и фотоэлектрические явления в полупроводниках
- •Глава 7 схемотехника и технология производства имс
- •§ II.7.1. Представление об элементной базе
- •§ II.7.2. Основные принципы проектирования устройств
- •§ II.7.3. Основные критерии миниатюризации и оптимизации изделий микроэлектроники
- •§ II.7.4. Ограничения и проблемы электроники твердого тела
- •§ II.7.5. Ттл технология производства имс
- •§ II.7.6. Мдп технология производства имс
- •§ II.7.7. Бис - проблемы и ограничения
- •§ II.7.8. Конструкция имс. Материалы и виды обработки, применяемые при изготовлении имс
§ II.7.2. Основные принципы проектирования устройств
дискретной и интегральной электроники
1. При проектировании устройств дискретной и интегральной электроники (ИМС) важную роль играют вопросы их унификации и пригодности к крупносерийному производству.
2. Различают два основных структурных класса ИМС: гибридные и полупроводниковые. Полупроводниковые ИМС разрабатывают и выпускают специализированные предприятия электронной промышленности. Они же разрабатывают и поставляют бескорпусные приборы для гибридных микросхем для гибридных микросхем, разработчиками которых обычно являются предприятия, проектирующие и производящие МЭА. Наиболее доступными, с точки зрения изготовления, и более экономичными гибридными ИМС, являются толстопленочные. Затем появились тонкопленочные технологии, более прогрессивные.
3. Основными компонентами полупроводниковых ИМС являются биполярные и полевые транзисторы.
4. Различают технологии изготовления ИМС: биполярные - ТТЛ; полевые – на структурах МДП; ЭСЛ - на элементах инжекционной логики, каждый из которых в наиболее распространенном варианте содержит многоколлекторный n-p-n транзистор, выполняющий функции вентильного элемента и p-n-p транзистор, используемый в качестве нагрузки. МДП – обеспечивают более высокую степень интеграции.
5. В новейших типах ИМС, при достигнутом уровне интеграции, могут быть реализованы практически любые схемные решения, без ущерба для их габаритов и массы, если не превышается допустимый уровень рассеивания мощности и обеспечивается устойчивость к самовозбуждению.
6. Проблема теплоотвода:
Вследствие высокого уровня интеграции компонентов проблема отвода теплоты является одной из основных проблем современной микроэлектроники.
Мощность, рассеиваемая одним логическим элементом (ТТЛ, КМОП???), не превышает 10÷30 МВт. Минимальная мощность, рассеиваемая одним активным элементом, примерно равна 100 МВт. При плотности размещения компонентов 6·104 эл/см3 мощность, рассеиваемая в объеме 1 см3, Рср>6 Вт. Таким образом, мощность, рассеиваемая ИМС содержащей 100 логических элементов, достигает 10÷30 МВт, а при создании аналоговых ИМС 1÷3 МВТ. Следовательно, даже при сравнительно небольших уровнях интеграции активных элементов уже требуется обеспечивать дополнительный теплоотвод, поскольку для большинства серийно выпускаемых ИМС Рср≈0,5 Вт. При теоретически достижимой максимальной плотности размещения компонентов(???) в объеме 1 см3, равной 1011 мощность рассеяния составит 107 Вт. (10 мегават??? – Что это будет?. Теплоотвод как обеспечить? Сколько надо затратить тепла, чтобы обеспечить такую температуру в 1 см3, например, стали).
Экспериментально установлено, что при снижении мощности, потребляемой ИМС, на 50 МВт происходит снижение температуры кристалла на 10ºС. (Отсюда следует, что при теоретически достижимой максимальной плотности размещения компонентов в объеме 1 см3, равной 1011, ИМС, занимающая объем 1 см3, разогреется до температуры миллиард градусов. ????)
По величине потребляемой мощности различают следующие типы ИМС:
Мощные – 0,025≤Рп≤0,25 Вт
Средней мощности – 0,3·10-3 ≤ Рп ≤ 3·10-3 Вт
Маломощные - 10-4 ≤ Рп ≤ 10-2 Вт
Микромощные, в том числе микроваттные - 10-7 ≤ Рп ≤ 10-4 Вт
Нановаттные 10-9 ≤ Рп ≤ 10-7 Вт
Снижение потребляемой мощности достигается применением взаимодополняющих транзисторов, импульсных рабочих режимов с большой скважностью, специальных схемных решений.
7. Проблема наличия сильных паразитных связей между компонентами.
Если в микромодулях и ИС выполненных по гибридной технологии на пассивных подложках, ухудшение изоляции между компонентами, которое и приводит к усилению паразитных связей, обусловлено главным образом повышенной плотностью их размещения, по в полупроводниковых ИМС качественно изменяется характер межкомпонентных связей.
В настоящее время в п/п микросхемах в основном применяются два способа изоляции компонентов: с использованием обратно смещенных p-n переходов (ТТЛ – технология)и с использованием диэлектрических свойств двуокиси кремния (КМОП – технология).
Первый способ получил более широкое распространение, так как он повышает процент выхода годных микросхем и сопряжен с меньшими материальными затратами. К недостаткам данного метода относится ухудшение частотных свойств и импульсных характеристик ИМС, так как обратно смещенные переходы имеют сравнительно большие емкости. Следует также иметь в виду, что сопротивление изоляции в рассматриваемом случае не является стабильным, так как обратные токи смещенных переходов в сильной степени зависят от температуры и радиационных воздействий.
Второй способ изоляции компонентов, основанный на применении диэлектрической пленки двуокиси кремния, позволяет на порядок уменьшить паразитные емкости межкомпонентных связей и повысить стабильность сопротивления изоляции. Однако и в этом случае качество изоляции все же заметно хуже, чем при применении пассивной подложки.
Наличие сильных паразитных связей между компонентами микросхем значительно затрудняет их моделирование и возможности проведения экспериментальной проверки параметров разработанных схем. Существует острая необходимость разработки всё более совершенных методов математического моделирования ИМС и повышения точности расчета их параметров и характеристик.
В настоящее время отсутствуют приемлемые решения по созданию катушек индуктивности для интегральных микросхем, невелики емкости конденсаторов, имеются определенные трудности при подборе сопротивлений резисторов. Поэтому вполне естественным является применение в схемах частотной избирательности и в цепях временной коррекции элементов RC взамен элементов LC. Важное значение имеет также использование «эффекта парности» транзисторов, изготовленных в одном кристалле. В этом случае разброс параметров микросхем не превышает 3-5%. Благодаря этому дифференциальные интегральные усилители обладают лучшей симметрией, чем усилители дискретной электроники. Данное обстоятельство определило широкое распространение в интегральной электронике дифференциальных схем и открыло благоприятные возможности для крупносерийного производства операционных усилителей высокой точности и интегральных дифференциальных усилителей постоянного тока, устойчивых к дестабилизирующим воздействиям различного рода и имеющих малый дрейф нуля.
Преобладание в устройствах интегральной электроники активных компонентов и широкое использование обратных связей выдвинуло в качестве одной из важных задач разработку методов обеспечения требуемой устойчивости ИМС аналогового типа к самовозбуждению.
Характерной особенностью микроэлектроники является также возможность создания активных компонентов с большим числом переходов и, в частности, многоэмиттерных транзисторов, а также составных транзисторов и каскодных схем. Это позволяет существенно упростить разработку ряда типов устройств дискретного и отчасти аналогового действия.
Т.о., проектирование элементной базы третьего и четвертого поколений является сложной проблемой. Поэтому в подавляющем большинстве случаев недопустимо копировать для интегрального исполнения схемы узлов и блоков аналогичного назначения, выполненных элементной на базе дискретной электроники. Вместе с тем методы расчета параметров и характеристик большинства типов ИМС и МЭА в целом могут быть выполнены с использованием в основном того же аппарата, который применяется для РЭА, выполненной на элементной базе первого и второго поколений, но с учетом специфики решений интегральной электроники. При этом должна быть повышена точность расчетов и усовершенствованы методы математического и физического моделирования ИС. Что же касается методики проектирования ИМС, то она должна, в возможно большей степени, опираться на аппарат системотехники.
