Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
технология изделий интегральной электроники___....docx
Скачиваний:
41
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
5 Мб
Скачать
☆

liquid — жидкий) означает жидкую фазу, a L + a и L + β означа­ют жидкую фазу плюс твердую фазу а или β соответственно. Линии, разделяющие фазы, т.е. линии, на которых могут суще­ствовать различные фазы вещества, имеют следующие назва­ния: солидус - линия, на которой одновременно существуют фазы а или β с фазами L + a и L + β соответственно; сольвус -линия, на которой одновременно сосуществуют фазы а и а + β или β и а + β и ликвидус - линия, на которой одновременно существует фаза L с фазой L + a или L + β

Точка пересечения двух линий ликвидуса часто является точ­кой наименьшей температуры плавления для всех возможных комбинаций веществ А и В и называется эвтектической точкой. Смесь с соотношением компонентов в эвтектической точке назы­вается эвтектической смесью (или просто эвтектикой).

Целесообразно будет рассмотреть, как происходит переход смеси из жидкого состояния (расплава) в твердое и как фазо­вая диаграмма помогает предсказать равновесную композицию всех фаз, существующих при данной температуре. Обратимся к рис. 1.11.

Pис. 1.11. Двухфазная диаграмма состояний, на которой показаны процессы отвердевания

Предположим, что вначале смесь имела состав См при тем­пературе Т1 при температуре от Т1 до Т2 существует жидкая фаза, а при температуре Т2 одновременно существуют фазы L и

β. Состав присутствующей фазы L есть См, состав фазы β есть Сβ1. При дальнейшем снижении температуры до Т3 состав жид­кой фазы меняется вдоль кривой ликвидуса, а состав фазы β -вдоль кривой солидуса до пересечения с изотермой (горизон­тальной линией) Т3. Теперь состав фазы L будет CL, а состав твердой фазы β - С0. Следует отметить, что состав Сβ2 будет иметь не только вещество состава CL, перешедшее в фазу β при температуре Т3, но и все вещество, перешедшее в фазу β при более высокой температуре. Это выравнивание составов долж­но произойти путем твердотельной диффузии компонента А в образовавшуюся фазу β, так что к моменту достижения темпе­ратуры Т3 все вещество, находящееся в фазе β будет иметь со­став Сβ2.

Дальнейшее снижение температуры приводит нас в эвтекти­ческую точку. В ней фазы а и β существуют одновременно с жидкой фазой L. При более низких температурах существуют только фазы а и β. Образуется смесь фаз а и β состава СЕ с агре­гатами β начальным составом Затем, выдерживая эту смесь длительное время при температуре ниже эвтектической, можно получить твердое тело. Образовавшееся твердое тело будет со­стоять из двух фаз а и β. Состав каждой из фаз можно опреде­лить в точке пересечения изотермы с соответствующей линией сольвуса.

Только что было показано, как определить состав каждой из присутствующих фаз. Теперь рассмотрим задачу определе­ния количества вещества в каждой фазе. Во избежание пута­ницы на рис. 1.12 еще раз приводится простая двухфазная ди­аграмма. Предположим, что при температуре T1 состав распла­ва есть См (имеется в виду компонент В), тогда при Т2 фаза L имеет состав CL, а фаза β будет иметь состав Cs. Пусть МL -масса вещества, находящегося в жидком состоянии, a Ms -масса вещества, находящегося в твердом состоянии. Условие сохранения суммарной массы приводит к следующему уравне­нию:

(1.13)

В этом уравнении нашел отражение тот факт, что общая масса вещества при температуре Т1 умноженная на процент компонента В, есть общая масса вещества В. Она равна сумме

масс вещества В, существующего в жидкой и в твердой фазах при температуре Т2. Решая это уравнение, получаем

(1.14)

Это выражение известно как правило уровня. С помощью этого правила, зная начальный состав расплава и общую его массу, можно определить массы обеих фаз и количество компо­нента В в любой фазе для любого участка двухфазной диаграм­мы. Точно так же можно вычислить и количество компонента А в любой фазе для любого участка двухфазной диаграммы.

На рис. 1.13 приведен еще один пример отвердевания рас­плава. Снижение температуры от T1 до Т2 приводит к смешива­нию фаз L и β составом соответственно См и Сβ По мере даль­нейшего охлаждения состав L меняется вдоль линии ликвидуса, а состав β — вдоль линии солидуса, как было описано ранее. При достижении температуры Т3 состав β станет равным См, и, как следует из правила уровня, при температуре, меньшей Т3, жид­кая фаза существовать не может. При температуре, меньшей Т4, фазы а и β существуют как агрегаты фаз а и β Например, при температуре Т5 агрегаты фазы β будут иметь состав, определяе­мый пересечением изотермы Т5 и сольвуса β. Состав а опреде­ляется аналогично — пересечением изотермы и сольвуса а.

Участки двухфазной диаграммы, называемые до сих пор а и β - это участки твердой растворимости: в области а раство­рен компонент В в компоненте А, а в области β растворен ком­понент А в компоненте В. Максимальные количества компо­нента А, которое может быть растворено в В, и компонента В, которое может быть растворено в А при данной температуре, находятся в зависимости от температуры. При эвтектической или более высокой температуре может иметь место быстрое сплавливание А и В. Если полученный при этом сплав резко охладить, то атомы А могут быть захвачены в решетку компо­нента В. Но если твердая растворимость при комнатной темпе­ратуре намного ниже (это говорит о том, что при этой темпера­туре рассматриваемый подход не слишком пригоден), то в сплаве могут возникнуть большие остаточные напряжения, существенно влияющие на его свойства (при наличии значительных оста­точных напряжений возникают пересыщенные твердые раство­ры, й система не находится в равновесном состоянии, а диаг­рамма даёт информацию только о равновесных состояниях). Иногда такой эффект является желательным, например при упрочнении стали закалкой с получением мартенсита. Но в изделиях интегральной электроники возникновение больших