Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Вопросы ГОСЭКЗАМЕНА(с ответами).doc
Скачиваний:
2
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
36 Мб
Скачать
☆
  1. Многопозиционные вакуумные установки для получения тонких пленок термическим вакуумным испарением.

  1. Технология толстопленочных микросхем. Схема технологического процесса.

Толстые пленки – это пленки толщиной 20-40мк. Их применяют для изготовления пассивных элементов (резисторов, конденсаторов, проводников и контактных площадок) в ГИМС. Кроме того их применяют в многоуровневых коммутационных платах микросборок в качестве чередующихся проводниковых и изоляционных слоев.

Толстопленочная технология дешевле и выгодна в серийном производстве. Суть ее в нанесении паст разного состава через сетчатые трафареты на керамическую подложку с последующим вжиганием в конвейерных печах при определенной температуре:

- проводниковых паст при 800 ºC

- диэлектрических паст при ≈700 ºC

- резистивных паст при ≈650 ºC

В состав паст входят - функциональная составляющая ( металлы - серебро, палладий, реже золото и др. и окислы), - конструкционная составляющая ( частицы легкоплавких стекол, например, свинцовоборосиликатных), - технологическая составляющая ( органическая связка, например, ланолин, канифоль и др.)-)

В процессе вжигания органическая связка улетучивается, стекломасса расплавляется и схватывается с керамикой, то есть паста закрепляется на поверхности керамики. Соотношение металлов и окислов обеспечивает электрические свойства слоя от проводников до диэлектриков.

Этапы технологического процесса изготовления толстопленочных гибридных микросхем:

-подготовка подложек;

-трафаретная печать, сушка, вжигание проводников;

-трафаретная печать, сушка, вжигание диэлектриков;

-трафаретная печать, сушка, вжигание верхних обкладок конденсаторов (если они предусмотрены);

-трафаретная печать, сушка, вжигание резисторов;

-подгонка элементов;

-нанесение лудящей пасты на контактные площадки;

-монтаж навесных компонентов;

-монтаж подложки в корпус;

-присоединение внешних выводов к корпусу;

-герметизация, контроль;

-испытания, маркировка.

  1. Пасты для получения толстопленочных элементов микросхем. Трафаретная печать, вжигание элементов толстопленочных микросхем.

Трафаретная печать элементов осуществляется путем продавливания пасты на подложку через открытые участки сетчатого трафарета, соответствующие рисунку топологического слоя. Давление и скорость движения инструмента для нанесения пасты (ракеля) регулируется в зависимости от вязкости пасты и вида трафарета.

Печатание каждого последующего слоя выполняется только после сушки и вжигания предыдущего. При сушке удаляются летучие компоненты органической связки. Для различных паст максимальная температура достигается постепенно от 120 до 400 ºC, а время сушки от 20 до 80 мин. Последующий цикл вжигания составляет 1 – 2 часа при постепенном достижении максимальной температуры, выдержке при ней и медленном охлаждении. В процессе вжигания происходит химическое взаимодействие окислов, стекла и керамики, а также физическое заполнение стеклом пор керамики.